爱丽塔ALICAT应用案例介绍

一、爱丽塔服务的电池负极材料行业应用

爱丽塔公司服务了多家负极材料生产企业和负极材料生产设备企业。负极材料生产过程中主要会用到这些硅烷、乙炔、氮气、氩气、氢气、和其它的一些含碳气体（甲烷、丙烯等），每家企业工艺的差别，决定他们在选择气体质量流量控制器测控介质种类和量程有差异，其中有两种气体应用比较特殊，需要额外关注：

1、硅烷属于活跃性很强的气体，遇到空气后会产生二氧化硅（沙子），造成质量流量控制器和气路的损坏，故在使用过程中需要用氮气把气路中的空气吹扫干净，确保没有空气的残留。考虑硅烷具有腐蚀性和易燃性，质量流量控制器选型要考虑用耐腐蚀MCS系列加防爆工艺，并采用密封不易泄漏的且洁净度高的VCR方式予以连接。

2、乙炔属于易ran气体。在液态和固态下或在气态和一定压力下有猛烈爆炸的危险，受热、震动、电火花等因素都可以引发爆炸，因此通常采用溶于丙酮的形式运输。乙炔自身没有腐蚀性，但是工业乙炔会有少量硫化氢等腐蚀性气体和乙炔一起从丙酮析出，丙酮在高于50℃也易挥发，少量丙酮和腐蚀性气体会进入质量流量控制器，所以选型也需要考虑采用耐腐蚀MCS系列和防爆工艺，并采用密封不易泄漏的且洁净度高的VCR方式予以连接。

二、爱丽塔设计并服务CVD行业的一个典型应用

随着人工培育钻石行业的兴起，CVD尤其是MPCVD行业发展迅速。经过长期跟进、技术论证，某上市企业一次性采购1200台Alicat金刚石行业专用SL2系列气体质量流量控制器，其除具备精度高、反应速度快，微小流量控制平稳、重复性好，多介质可切换使用外，SL2系列的气路底座更是采用了一体切割成型，确保了极低泄露率。介质和量程分别为氢气1000sccm ，甲烷100SCCM ，氩气50sccm ，氮气10sccm ，氧气5sccm 。为更好地服务好客户，爱丽塔推荐客户采用整体气路面板集成化解决方案，集成化程度更高，质量控制和成本控制也都会更理想，客户经权衡比对，予以采纳。

爱丽塔结合客户实际需求选配好优质进口ep级的气动隔膜阀，过滤器，ep级金属管路和管接头，采用万级无尘车间的高精密微焊，根据用户要求尺寸和交货时间整合集成为整块气路面版，经过保压、氦检多重测试，电气通讯以及适用户现场工况的PID全部优化设置完成后采用洁净包装交付给用户；把繁杂的用气步骤和电气通讯调试化繁为简，用户拿到后就是一个简单的模块，只需要接气路过程部分和电气通讯部分，即可直接上机使用，简单、高效，用户拿到设备后非常满意。

三、爱丽塔深度参与设计中国空间站实验装置项目（目前部分已解密）

由爱丽塔、中科院力学所和清华大学能动系共同参与的中国空间站某项目，实现了空间站内某实验装置的连续在轨运行，同时地面镜像部分也一直在持续正常运行。

前期经历了非常多严苛的实验：如设备运行真空环境实验、高低温环境实验、模拟失重状态下跌落震动实验（由七层楼高向下做跌落震动测试，设备要正常工作，还要保证流量、压力控制稳定性偏差不能大于控制值的±0.5%）、24小时*365连续工作且对于来自上游压力波动导致下游的流量和压力波动不能大于控制值的的±0.5%；基于以上前期要求，我们在参与方案设计选型时就推荐了Alicat的层流差压质量流量控制器和压力控制器，其控制反应速度可以达到惊人的20ms左右，压力控制器的控制反应速度可以达到5ms左右，对于来自压力的波动、外界的震动，导致的电磁阀需要快速修正开合比例进而达到修正控制流量或压力时，都可以超快速响应，在毫厘间完成流量和压力的修正，达到项目组的整体要求。

这种工况在其他品牌或原理的流量控制器动辄响应时间在500ms甚至更久时间的情况下，简直就是控制“灾难”，更是不可能完成的事情；目前该项目已进入第四期。

四、爱丽塔与大飞机部件制造商共同设计大飞机零部件系统测试台

其中的技术难点要求：压力控制部分需要满足0-2Mpa控制压力区间，精度误差不能超过±3Kpa；被测零部件容积约100ml，管道6mm，长度约3.5米，单次充气时间不能大于10s；我们推荐选型Alicat的高精度双阀压力控制器，其控制精度可以达到±0.125%FS，确保在0-2Mpa整个压力控制区间精度误差仅仅为±2.5Kpa，同时根据被测零件容积和管道容积精确测算不同压力下的快充气时间选择合适的不锈钢高压阀门，既保证单次充气时间小于10s，又保证控制稳定性不出现过充或抖动；解决大飞机零部件高标准测试要求。

五、爱丽塔助力国内某半导体企业在半导体新工艺关键制程中对于MTS液体的微小流量精确测控

MTS一种特殊液体介质，与空气或遇水就会导致其结晶，常温常压下其浮点只有50℃左右，这就注定了这种液体介质不能采用常规的泵加压方式来提供压力，且新工艺也要求了对于控制的平稳性。

爱丽塔帮助该公司设计采用了Alicat的PCD双阀压力控制+CODA系列KC高精度科里奥利液体控制器来实现对于MTS的平稳精确测控。通过高纯的Ar来给工艺罐内的MTS施加2barG的恒定压力，给MTS提供压力源，使其流出，再经过KC液体流量控制器进行平稳的精确控制流量进入工艺反应腔室。同时管路设计切换阀，在一个工艺周期结束、或者检修前切换为Ar进行吹扫残留的MTS，防止其结晶，同时也确保该特殊液体介质能够精确、平稳的进入新工艺反应腔室。

六、爱丽塔在泄露检测方面的一些设计应用

1、国内北方某企业为丰田、长城、奇瑞等汽车的ABS产品核心供应商，月产量在40万支。ABS产品出厂检测时候的气密性，则为产品是否合格的一个重要判断依据；测试标准为，3barG压力下，压缩空气，泄漏量如果大于0.85SCCM，则该产品不予合格。爱丽塔接到用户需求后，为用户设计和选型Alicat的50SCCM量程流量计，作为测试平台中的核心部件，其5秒左右的响应时间，高达10000：1的量程比，NIST可溯源校准，成为用户高效、准确、的检测手段。

2、长三角某电池部件公司，在判断产品自然泄露率是否合格时，也找到我们设计对应的方案。改用户的技术难点在于，测试压力只有10KpaG内，判定产品是否合格时的流量值仅为0.035SCCM。爱丽塔为用户设计和选型Alicat的低压损专用5SCCM量程流量计，该流量计满量程压损仅为0.48Kpa，同时流量读数可以显示到小数点后边4位。解决了该产品低压小流量泄露检测。