MC系列气体质量流量控制器

简要描述：艾里卡特MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能快速实现稳定控制。

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产品分类

详细介绍

性能

· 可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）

· 可调比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）

· 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）

· 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）

· 可重复性：0.2%满量程

· 标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）

· 无需预热时间

工作条件

· 兼容气体：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

· 工作温度：-10°C至+60°C

· 内部压力（静态）：145 psig（160 psia）

· 耐受压力：175 psig（190 psia）

包装清单

· MC系列气体质量流量控制器（电源需另行订购）

· NIST可溯源校准证书

· 艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

· 过程端口接头和过滤器

· 电源

· 通讯线缆和转换线缆

· BB3和BB9多点式集线盒

· Flow Vision软件

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