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质量流量计
质量流量控制器
科里奥利质量流量计/控制器
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拥有 NIST 可溯源校准,精度可达读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%,可重复性达 0.2% 满量程,能为流量、压力控制提供可靠数据支撑。其量程覆盖 10 SCCM 至 5000 SLPM,50:1 的可调比可满足不同流量区间的精准控制需求。
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