美国Alicat-MCS系列控制器

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更新时间：2025-12-11 10:33:39
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Alicat大量程5000SLM气体质量流量控制器

详细介绍

美国 Alicat - MCS 系列是专为耐腐蚀场景设计的气体质量流量控制器，核心优势在于适配多种腐蚀性气体，同时兼具高精度、快速响应等特点，广泛应用于半导体、光伏等对气体兼容性和控制精度要求严苛的行业,流量量程覆盖 0.5 SCCM - 12000 SLPM，常规精度可达 ±（0.8% 读数 + 0.2% 满量程），最高精度能达到 ±（0.4% 读数 + 0.2% 满量程），且重复性稳定在 ±0.2% 满量程，测量数据可靠性强。控制范围为满量程的 1%-100%，可适配不同流量需求的场景。耐腐蚀MS系列.jpg

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