M系列气体质量流量计

简要描述：M系列气体质量流量计同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度，可用流量量程跨度宽，内置多种气体校准，使得这款流量计成为您实验室的明星设备。

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详细介绍

性能

· 可用量程：最大0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）

· 可调比：200:1（M系列）或者100:1（MS系列）

· 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）

· 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）

· 可重复性：0.2%满量程

· 标准控制器响应时间常数：5-10ms

· 无需预热时间

工作条件

· 兼容气体：98（MB系列）或130（MBS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

· 工作温度：-10°C至+60°C

· 最大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）

· 最大差压（进口至出口）：75 psid

· 耐受压力：175 psig（190 psia）

· STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包装清单

· M系列气体质量流量计（电源需另行订购）

· NIST可溯源校准证书

· 艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

· 过程端口接头和过滤器

· 电源

· 通讯线缆和转换线缆

· BB3和BB9多点式集线盒

· Flow Vision软件

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