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简要描述:MS 系列耐腐蚀质量流量计可测量 130 多种气体的质量流量和体积流量,包括 32 种腐蚀性气体。
产品分类
质量流量计
质量流量控制器
科里奥利质量流量计/控制器
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详细介绍
规格
定制范围从 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM
完整规格表
量程范围:0.5 SCCM 至 5,000 SLPM
测量范围: 1% – 100% F.S.
精度:读数的 0.8% 和 0.2% F.S.
可选高精度:读数的 0.4% 和 0.2% F.S.
重复性:±0.2% F.S.
响应时间:<10 毫秒
工作温度:–10°C 至 +60°C
工作压力:160 PSIA (11 barA)
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