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MS 系列耐腐蚀质量流量计

简要描述:MS 系列耐腐蚀质量流量计可测量 130 多种气体的质量流量和体积流量,包括 32 种腐蚀性气体。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2023-09-27 16:53:29
  • 访  问  量:344

详细介绍

规格、功能和自定义选项

规格

定制范围从 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM

  • 完整规格表

MS系列标准规格

  • 量程范围:0.5 SCCM 至 5,000 SLPM

  • 测量范围: 1% – 100% F.S.

  • 精度:读数的 0.8% 和 0.2% F.S.

  • 可选高精度:读数的 0.4% 和 0.2% F.S.

  • 重复性:±0.2% F.S.

  • 响应时间:<10 毫秒

  • 工作温度:–10°C 至 +60°C

  • 工作压力:160 PSIA (11 barA)

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