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热门关键词：气体质量流量计-质量流量控制器-质量流量计

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MS-系列 耐腐蚀质量流量计

简要描述：MS 系列耐腐蚀质量流量计可测量 130 多种气体的质量流量和体积流量，包括 32 种腐蚀性气体。

  • 产品型号：
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2023-09-28 11:07:02
  • 访  问  量：3090
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详细介绍

规格、功能和自定义选项

规格

定制范围从 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM


MS系列标准规格

  • 量程范围：0.5 SCCM 至 5,000 SLPM
  • 测量范围： 1% – 100% F.S.
  • 精度：读数的 0.8% 和 0.2% F.S.
  • 可选高精度：读数的 0.4% 和 0.2% F.S.
  • 重复性：±0.2% F.S.
  • 响应时间：<10 毫秒
  • 工作温度：–10°C 至 +60°C
  • 工作压力：160 PSIA (11 barA)
功能和附件

功能

  • 同时测量体积流量、质量流量、气体压力和气体温度。
  • 现场可调工程单位列表和 STP/NTP 条件。
  • 从 98 多种预加载的 NIST 可溯源气体校准中选择工艺气体。
  • 自定义和存储多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。
  • 使用集成触摸板从背光显示屏和控制配置中读取测量值。
  • 可选的集成双流量累加器和警报器

附件

  • FlowVision 软件
组成和性能选项
  • 通信：模拟、RS–232、RS–485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
  • 过程连接：NPT、SAE、AN、BSPP/G、压缩、VCR、VCO
  • 显示屏：背光单色或彩色；集成或面板安装；无显示屏
  • 接液材质：316L不锈钢&FFKM；根据需要 FKM 或 EPDM
  • 校准：标准或高精度；自定义校准点

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