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-准确。 流量测量具有NIST可溯源精度，适用于低至满量程1/50th的各种气体，还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
-使用简单。 只要您打开气体质量流量计，气体质量流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
-连接。 艾里卡特气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式；订购时，可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通讯，方便与您的数字工业或实验室网络整合。
性能
可用量程：最大0-5000 slpm；最小0-10 sccm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
可调比：50:1
校准精度（NIST可溯源）：±2%满量程
可重复性：0.2%满量程
标准控制器响应时间常数：5-10ms
无需预热时间
工作条件
兼容气体：98（MQ系列）或130（MQS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至+60°C
最大内部压力（静态）：305 psig（320 psia）
最大差压（进口至出口）：100 psid
耐受压力：400 psig（415 psia）
STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
包装清单
MQ系列高压气体质量流量计（电源需另行订购）
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
配件（需另行订购）
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件
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