性能
- 可用量程:最大0-1000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:200:1
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
无需预热时间
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-连接。 艾里卡特气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式;订购时,可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus(RTU和TCP/IP)通讯,方便与您的数字工业或实验室网络整合。
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